Kategorija proizvoda
Obratite nam se

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Adresa:

Plant No.19, TusPark, Avenue Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kina


tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faks:

+86 29 3315 9049


E-mail:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



Dežurnoj servisnoj telefonskoj liniji
029 3358 2330

Vijesti

Dom > VijestiSadržaj

Smjernice i mjere opreza pri korištenju ciljeva metalnog raspršivanja

Smjernice i mjere opreza pri korištenju ciljeva metalne raspršivanja

Prvo, priprema prskanja

Vrlo je važno održavati vakuumsku komoru, posebno sustav prskanja, čistim. Bilo koji ostatak koji nastaje podmazivanjem ulja i prašine i pred-premaza prikupit će vodenu paru i ostale onečišćivače koji izravno utječu na stupanj vakuuma kako bi se dobio i povećala mogućnost propadanja filma. Metalni ciljevi prskanja Kratki ili ciljni luk, površina hrapavosti filma i kemijskih nečistoća često se premašuju zbog nečiste prostorije prskanja, puščanog pištolja i cilja. Kako bi se održao sastav karakteristika prevlačenja, plin za raspršivanje (argon ili kisik) mora biti čist i suh, komora za raspršivanje u podlogu nakon potrebe ekstrakcije zraka radi postizanja potrebnog vakuumskog postupka. Štitovi od tamnog područja, zidovi šupljina i susjedne površine također moraju biti čisti. Kod čišćenja vakuumske komore preporučujemo upotrebu metode staklenog kuglastog metala za istodobno obrađivanje dijelova prljavštine s komprimiranim zrakom kako bi se uklonila šupljina oko pre-sputtering ostatka, a zatim glinicu impregniranom površinom od poliranja. Nakon poliranja gaze, a zatim isprati alkoholom, Metal Sputtering cilja aceton i deioniziranu vodu i preporučuje uporabu industrijskog usisavača za pomoćno čišćenje.

OPREZ: Prilikom korištenja cilja čuvajte čiste i nezaštićene zaštitne rukavice i izbjegavajte izravni kontakt s ciljem

Drugo, cilj je čist

Svrha ciljnog čišćenja je uklanjanje prašine ili prljavštine koja može biti prisutna na površini metala.

Metalni ciljevi mogu se očistiti sa četiri koraka,

Prvi korak u acetonu natopljenom mekom krpom bez dlačica;

Drugi je korak sličan prvom koraku s alkoholom;

Treći korak je pranje deioniziranom vodom. Nakon pranja deioniziranom vodom, cilj je zatim stavljen u pećnicu i sušen na 100 ° C tijekom 30 minuta.

Čišćenje oksidnog i keramičkog ciljnog čišćenja s "krpom koja ne ostavlja dlačice".

Korak 4 Nakon uklanjanja prljavog područja, Metal Sputtering Ciljevi ispiru metu argonom pri visokom tlaku i niskoj vlagi kako bi uklonili sve nečistoće koje mogu izazvati lukove u sustavu prskanja

Treće, ciljana instalacija

Najvažnija stvar koju treba zapamtiti tijekom instalacije cilja je osigurati dobru toplinsku vezu između cilja i zidova za hlađenje pištolja. Ako je krutost zida rashladne stezaljke teška ili je savijanje stražnje ploče teško, krekiranje ili savijanje nastaje kada je cilj montiran, a toplinska vodljivost leđa cilja na cilj će biti u velikoj mjeri pogođena, Metal Sputtering ciljevi koji rezultiraju toplina u procesu raspršivanja Distribucija će na kraju rezultirati ciljanim pucanjem ili isključenjem cilja

Kako bi se osigurala dostatna toplinska vodljivost, sloj grafita može biti podstavljen između zidne mreže i cilja. Pazite da pažljivo provjerite i razjasnite ravnost zidnog rupa za prskanje pištolja dok se osigura da O-prsten uvijek bude u položaju.

Zbog stupnja čistoće korištene rashladne vode i moguće onečišćenja opreme tijekom rada opreme, potrebno je pregledati i očistiti katodni spremnik za hlađenje pri postavljanju cilja kako bi se osigurao glatki protok rashladne vode i ulaznog i izlaznog otvora neće se blokirati.

Neki od katodnih konstrukcija manji su s rupom anode, Metal Sputtering Targets tako da instalacija cilja mora osigurati da katoda i anoda nisu u kontaktu s vodičem ne mogu postojati, inače će doći do kratkog spoja.

Pogledajte upute proizvođača opreme kako biste ispravno instalirali cilj. Ako nemate ove podatke u korisničkom priručniku, pokušajte slijediti navedene preporuke. Prilikom zatezanja ciljanog učvršćenja, prvo zategnite vijak rukom, a zatim ručno zategnite drugi vijak na dijagonalnom metalu, a zatim ponovite sve dok ne stavite sve vijke, a zatim zategnite alat.