Kategorija proizvoda
Obratite nam se

Haohai Metal Meterials Co, Ltd

Haohai Titanium Co, Ltd


Adresa:

Plant No.19, TusPark, Avenue Avenue,

Xianyang City, Shaanxi Pro., 712000, Kina


tel:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Faks:

+86 29 3315 9049


E-mail:

info@pvdtarget.com

sales@pvdtarget.com



Dežurnoj servisnoj telefonskoj liniji
029 3358 2330

Tehnologija

Dom > TehnologijaSadržaj

Planarna Magnetrons u PVD prevlake


Planarna Magnetrons u PVD prevlake


Planarna Magnetron je, u suštini, klasični "dioda" način rasprašenje katode uz dodatak stalni magnet polja iza katode. Ovaj magnet polja je uređen tako da magnetsko polje je normalno da električno polje u zatvorenom putu i tvori granicu "tunel" koji zamke elektrona u blizini površine meta. Ovaj elektron prekrivanja poboljšava učinkovitost formiranje iona plina i constrains pražnjenja plazme, omogućujući veće struje na niži tlak plina i postiže pršte taloženje viša za PVD (fizički pare taloženje) premaza.


Koristi nekoliko različitih Magnetron rasprašenje katoda/cilj oblika, ali najčešće su kružni i pravokutni. Pravokutni Magnetrons najčešće nalazimo u većem mjerilu u redu Magnetron rasprašenje sustava gdje supstrata skenirati linearno prošlosti mete na neki oblik transportne trake ili prijevoznik. Kružni Magnetrons češće nalaze se u manjem opsegu konfokalnim serije sustava ili jednog Hostija postaje u klaster Alati.


Iako složenije obrasce je moguće, većina katode - uključujući gotovo sve kružne i pravokutne one - imaju jednostavan koncentrični magnet uzorak s centar se jednog pola te opsegom suprotno. Za kružne Magnetron, to će biti relativno mali okrugli magnet u centru, i kružni prsten magneta suprotnog polariteta oko sa jazom između.


Za pravokutni Magnetron centar jedan je obično bar dolje OS (ali manje od pune dužine) s pravokutni "ograda" od suprotnog polariteta oko s jaz između. Jaz je gdje će se u plazmi, kružni prsten u kružnim Magnetron ili je izdužena "staze" u na pravokutni. Imajte na umu da, posebice u većim katode, magneti mogu biti nekoliko pojedinačnih segmenata, a ne jednu.


Kao cilj katodne prevlake materijal se koristi u PVD i materijal sputters off, bit ćete u mogućnosti vidjeti ove karakteristične erozije uzoraka na cilj lice. U stvari, u slučaju bilo kakvih problema magneta kao što nedostaju, krivo, ili naopako, erozije put bit će abnormalna i to može biti dobar dijagnostički pokazatelj problema unutar Magnetron rasprašenje katoda.


Pol orijentacija pojedinačnih magneta mora biti takva da jedan pol nastaje u centru, i suprotno polova na granici. Postoji nekoliko načina za to. Najčešći je instalirati magneti Sjever/Jug polova okomito na ravninu cilja, jednog pola prema meta i drugi kraj - "završetak" / suprotni pol - magnetski povezan na druge magnete s pola ploče od magnetski (normalno Željezni) materijala.


Kompletan magnetski krug je tako otvoren Sjeverni pol jednog magneta (ili niz pojedinačnih magneta ako ne jednom komadu) s suprotnu Južni pol zajedno od magnetskog materijala na Sjeverni pol drugog, čiji Južni pol je zatim OpenBSD. Ove dvije magnetski nasuprot otvorene aukcije lice prema meta i rezultirajuće magnetsko polje lukovima iznad površine cilj u obliku elektrona u lov, plazma koncentracija tunel.


Imajte na umu da PVD Magnetron radi s bilo magnetskih poravnanja - centar može biti Sjever i perimetra može biti Jug, ili obrnuto. Međutim, u većini planarna Magnetron rasprašenje sustava, postoji više katode u prilično neposrednoj blizini jedni druge, i ne želite lutalica Sjever / Jug polja nastala između ciljeva.


N/s Magnetron magnetskog polja trebalo mete lica, formiranje željenog magnetskog tunela. Iz tog razloga, to je posve poželjno da katode u jednom sustavu su poravnati na isti način, ili sve Sjever na svoje ograde, ili sve južno svoje ograde. I za objekte sa više pršte sustava, isto tako je poželjno da ih svi isti tako da katode sigurno može biti razmijenjeni između sustava bez brige o magnet poravnanja.


Postoje dodatne okolnosti i mogućnosti u vezi magneti. Većina cilj materijala su sobe magnetski i ne ometaju potrebna jakost magnetskog polja. Ali ako istrošenog magnetskih materijala poput željeza ili nikla trebat će vam veća snaga magneta, ili tanje ciljeve ili oboje kako bi se izbjegli površine magnetsko polje učinkovito isključila magnetska meta materijalom.


Osim toga, magnet detalje, kao što su magnetske snage i jaz dimenzije, mogu biti dizajnirane poboljšali cilj materijalno iskorištavanje ili poboljšati ujednačenost glavne osi pravokutnog meta. To je moguće pomoću elektromagneta umjesto stalnog magneta, koji mogu priuštiti neki stupanj programiranja kontrole magnetskog polja, ali se, naravno, povećava složenost i troškove.


Pršte katode su obično vodom hlađeni, obično uključuju Bakar podloga ploča koja je direktno vodom hlađeni, sa cilj bilo vezani ili vezana za to. I u većini slučajeva magneti se nalaze unutar vode jakne, u dodiru s vodom, koja vjerojatno kontaktira pola ploče u takvim katode.


U takvim slučajevima, stoga sada treba poduzeti odgovarajuće korake kako bi se izbjeglo korozije magneti ili pola ploče. Pola ploče se mogu izraditi od magnetske legure od nehrđajućeg čelika, na primjer, kako bi se izbjeglo korozije, a magneti koji, ovisno o svom sastavu, može inače može utjecati na izloženost vode može se sažeti u plastične ili epoksi.


Planarna Magnetrons i njihovi bliski rođaci obujmice na umetak meta Magnetrons, dopustiti korisnik ostvariti više stope pršte taloženje nego jednostavno dioda konfiguracija katode. Oni su također u stanju održati plazme na niže plina pritisaka, što može otvoriti taj parametar za dodatni proces prilagodbe kako bi se postigla određeni film svojstva kao što svibanj biti željan.


Niz takvih katode i mete su komercijalno dostupne, uključujući razne mogućnosti za magnet snage i izgled za poboljšanje određene aspekte procesa kada je to potrebno. Oni su postali glavni oslonac Magnetron PVD pršte obrade.


Sa suvremenim, dobro opremljenim biljka i neprocjenjivo znanje o procesima PVD premazom tankog filma, materijali i aplikacije,Haohai metalarazvija PVD premazom rješenja koja će našim kupcima ponuditi vrlo konkurentne prednosti, mi smo pouzdan partner u proizvodnji visokokvalitetneprskanje ciljevei luk katode.


Haohai Metal (Haohai Titan) pruža širok spektar premaznih sredstava u različite konfiguracije, poput rotatable prskanje mete, planarna prskanje mete, luk katode, isparavanja materijala i crucibles materijala odtItaniumCirkonijkromhafnijumNiobijTantalmolibdenasilicijTitan-aluminijnikal-kromsilicij-aluminijikrom-aluminij itd.